本实验室面向国民经济和国防重点工程重大需求，为装备制造业提供高性能零件先进加工技术方面的原创性理论、技术、装备及高层次人才作为首要目标，突出精密/超精密加工及特种加工研究和人才培养特色，重点围绕①精密/超精密加工技术、②微细特种加工理论与技术、③精密测量与加工过程数字化控制、④微系统与微制造技术四个方向开展科学研究、技术创新和人才培养，凝聚一支稳定的具有较强创新能力的研究队伍，创建国内一流、国际知名的先进制造技术基地，培养高素质高水平的创新型人才，为我国高端装备制造中的高性能零件制造技术发展提供重要理论方法与技术支撑。

主要研究内容有：

1、精密/超精密加工理论与技术

（1）   超大规模集成电路制造中化学机械抛光理论与技术；

（2）   硬脆材料的精密超精密磨削与研磨技术和装备；

（3）   精密复杂曲面零件的数控高速切削与高效磨削技术和装备；

（4）   超高精度（一级）齿轮加工工艺及设备。

2、微细特种加工理论与技术

（1）   超大规模集成电路制造中化学机械抛光理论与技术；

（2）   硬脆材料的精密超精密磨削与研磨技术和装备；

（3）   精密复杂曲面零件的数控高速切削与高效磨削技术和装备；

（4）   超高精度（一级）齿轮加工工艺及设备。

3、精密测量与加工过程数字化控制

（1）   精密及特种加工与测量中的微执行器及相关技术；

（2）   复杂形面几何量精密测量技术与仪器；

（3）   精密、超精密加工的在线测量与加工过程控制理论与技术；

（4）   微小型器件的精密测量、定位与组装技术。

4、微系统与微制造技术

（1）   多尺度微纳加工和聚合物微纳器件批量化加工方法；

（2）   多功能微纳传感器集成技术；

（3）   生化微纳系统与技术；

（4）   MEMS动态特性测试技术。

 

 

实验室学科依托