1.

动静态综合加载测量平台

ZBD21EE110

94.9

汉中众邦电液伺服控制系统有限公司

用于对被测构件施加动静态载荷并测量其机械响应，可用于研究大型机械装备（如高铁列车、大型旋转机械、大型构件等）的动静态机械特性。

2.

40兆数据采集系统

VibSoft-M2-40

45.1

德国Polytec公司

能够实现时域和频域信号记录，数字滤波，信号平均，时域和频域上的实时积分与微分，峰值保持，信号增强模式（抑制光学噪声）。

3.

振动台

ES-10G

40

苏州东菱

用于产品的振动环境试验，环境应力筛选试验，可靠性试验，还可用于产品的疲劳试验，以进行产品的寿命考核。

4.

疲劳试验机

SY70-5

86

苏州东菱

用于测定金属、合金材料及其构件（如操作关节、固接件、螺旋运动件等）在室温状态下的拉伸、压缩或拉压交变负荷的疲劳特性、疲劳寿命、预制裂纹及裂纹扩展试验。

5.

精密驱动电源系统

BP4620

73

日本NF公司

具有自由编程、高度可重复性和操作效率化等特点，既可以作为四通道的双极性电源，又可以作为四通道的功放设备与多功能信号发生器组合使用，形成精密驱动电源系统，并配有信号发生系统和电流测试系统，可实现多通道输入和多通道输出以及检测反馈，精度高且性能稳定。

6.

高性能单点式激光测振系统

OFV-505

39

德国Polytec公司

可实现远程控制，激光自动聚焦，允许OFV-5000嵌入一个小规模实验系统，同时也可以升级为扫描式激光测振系统，OFV-5000控制器和OFV-505光学头配套使用，可实现自动聚焦、远程聚焦和聚焦存取功能。

7.

多尺度小应力金属沉积实验系统

EP100-A

15

深圳市昊光机电应用科技有限公司

可用于高性能微小金属零件的制造技术研究，沉积精确且性能稳定，多种制造尺度下均可实现小应力金属沉积。

8.

高低温交变湿热试验机

DF-GDWJS010

9.8

鞍山金工机械制造有限公司

用于检验材料在高、低温（交变）循环变化的情况下的材质变化及强力的减衰程度

9.

机械驱动与加载子系统（机械设计实验室）

自制

74.2

中国

可以实现齿轮、轴承等关键基础零部件的动力加载及静动态性能测试

10.

超声振动加工中心

ULTRASONIC 70

367.7

德国 DMG

用于陶瓷、蓝宝石、玻璃、复合材料、功能晶体等硬脆难加工材料复杂型面、腔体、深小孔等的超声辅助磨削、铣削和钻削加工。

11.

激光器

TruDisk 4006

260

德国Trumpf

可以实现零件表面清洗、改性、激光熔覆等多种工艺。

12.

等离子体增强化学气相沉积

PlasmaPro 800Plus

147

英国牛津仪器公司

可沉积SiO2，SiNx，金刚石薄膜等；设备开放进样，可沉积尺寸小于等于12英寸的样品；沉底温度最高可达400°C；用于微电子器件制备中的薄膜沉积。

13.

高精度多元传感测量系统

SmartScope ZIP   250

51.74

美国光学量具产品公司(OGP)

可实现(接触、非接触)多元传感测量功能，测量精度和重复性高。可为精密零部件测量提供一个精确的测量环境，能够跟踪复杂零件的特征关系，并提供被测零部件完整的三维信息。

14.

智能磁记忆涡流检测仪

EMS-2003

15

爱德森（厦门）电子有限公司

用于检测金属材料内部微缺陷及裂纹扩展情况。

15.

Gabi生命周期评估分析软件系统

GaBi Software System

26.2762

德国PE-INTERNATIONAL

进行产品全生命周期中环境影响和资源能源消耗的分析评价。

16.

COMSOL   Multiphysics计算平台

4.0a

12

瑞典comsol

可实现微尺度下的微流控、两相流、相变、流固耦合等模拟。

17.

纳米压印光刻机

Eitre 6

192

瑞典Obducat AB

此设备可以进行热压印和紫外压印工艺。设备分辨率为20 纳米。最大压印面积为6英寸。对准精度为1微米。最高压印温度和压力分别为200℃和70 bars。

18.

精密磨抛加工综合实验台

KDCCOS600

215

长沙新禾电子有限公司

可完成平面、球面、非球面和离轴非球面的光学元件的精密磨削和微纳抛光修形。

19.

多分量测力系统

9253B23

82.5

瑞士Kistler公司

可用于高精度加工中切削力、转矩和切削功率的测量，测量精确且性能稳定。

20.

高真空电子束热蒸发镀膜及工件退火炉

非标准订制

38

苏州硕光科技有限公司

采用电阻热蒸发镀膜技术和电子束热蒸发镀膜技术，适用于在样品表面镀制各种单层膜、多层膜和掺杂膜系。广泛应用于微机电系统、半导体行业及新材料领域。

21.

超高速摄像机

FastCamSA-5 M3

70

日本Photron公司

相机运用Photron领先的CMOS传感器技术，可以达到同类产品中超越的高感光度，是全世界百万像素下最快帧频的高速相机。主要用于精密加工中高速切削状态和能量转化过程监测。

22.

高精密微型测力计

Kistler

69

瑞士奇石乐仪器股份公司

可用于高精度加工中微小切削力、转矩及切削功率的测量，继而开展切削机理、刀具磨损规律的研究。

23.

三维激光数据化仪

VIVID9i

80

日本柯尼卡美能达公司

最大测量距离2.5米

24.

轴承寿命强化试验机及测试系统

ABLT-XA

80

杭州轴承试验研究中心有限公司

适用于内径为60~120 mm的滚动轴承疲劳寿命强化试验。

25.

化学机械抛光（CMP）实验台

EJW-610I-1AL

123

日本Engis公司

该化学机械抛光（CMP）实验台主要用于大尺寸工件的超精密加工工艺及加工理论，以及亚表面损伤检测和失效分析。研磨/抛光盘尺寸610mm；可加工工件的最大直径8~12英寸（200~300mm），最大厚度50mm；研磨/抛光盘转速范围0~400rpm；主机功率：2.2Kw（3相 200V）。

26.

高速铣削加工中心

HSM500

239

瑞士MIRON公司

该加工中心具有良好的阻尼性能和稳定性，定位精确（重复定位均可达到4μ）、刚度高，加速度可达1.7g，用户界面设计友好操作方便，具有较高的隔音效果，配备了功能强大的除尘系统，能够实现主轴的高速旋转，最高转速可达54000rpm。

27.

平面正交光栅测量系统

KGM182/IK220/ACCOM   Software

17.25

德国HEIDENHAIN

测量直径230mm，信号周期4μm，精度等级±2 μm，信号输出形式1 VPP，IK   220脉冲计数卡4096倍细分。

28.

立式四轴加工中心

MB66-VA

152

日本OKUMA公司

复杂三维曲面及4轴加工等。

29.

数控线切割加工机

NA2400

160

日本三菱电机

二维通透件、上下异形件、大锥度零件、模具型腔型芯及凸凹模加工，级进模高精度步距加工等

30.

数控电火花加工机

EA8AM

80

日本三菱电机

高精密复杂模具型腔、接插件等微细精加工，斜齿轮加工及镜面加工等。

31.

车铣复合加工机

MULTUS B400-W

238.6

日本OKUMA公司

一次装夹，完成车削、多轴铣削复杂三维曲面、钻孔、铰孔、 攻丝等多工序复合化加工等。

32.

Polytec激光测振仪

OFV-534/VDD

50

德国Polytec公司

位移输出最大速度810mm/s，频率0-2MHz，分辨率2pm；单点测量，带显微聚焦镜头，光斑直径3μm。适用于微构件等(不限于微构件)的振动、位移的高精度测量。

33.

三轴YAG激光成形系统

RP－503F

182.96

镭胜（新加坡）科技公司

适合金属/合金材料的直接零件成形。用于研究成形过程中的工艺参数及成形样品的性能特点。包括：成形样品的组织结构、应力应变、温度分布、剃度功能材料成形控制等。

34.

原子力显微镜

XE-200/300

141.22

韩国Park System Corp

可测量样品直径2~12英寸（50~300mm），XY运动台行程200x200mm，采用非接触测量模式，平板扫描器，闭环控制技术，具有多点测量功能，XY向最大扫描范围200μm，Z向最大量程25μm，Z向分辨率0.1 Å，XY向分辨率2Å，辅助光学分辨率1μm。

35.

微挤出实验机

HPE-100H

71.5

美国戴维斯-标准公司

用于微小管材的挤出成型实验，具有螺旋Maddock混合段用于多种塑料的混合，可以用于微小塑料熔体的挤出流动分析、冷却定型分析及其模具设计等方面的研究。

36.

引线键合机

7476D

21.8

美国威斯宝(West Bond)公司

微机控制，焊接参数可编程；45度锲键合，90度深腔锲键合为标准配制；线径范围：18-100微米；深腔：大于13毫米，1英寸为选件；超声功率：4W；可调操作平台高度0.625英寸，尺寸12×12英寸；可储存多个器件的程序；液晶显示。

37.

离子溅射仪

JFC-1600

13.8

日本电子株式会社

主要用于样品的表面喷金处理，可以增强样品表面的导电性，得到高清晰的图像。适于生命科学样品及非导体样品的制备。主要特性：阴极永磁体产生高效辉光放电；操作简单、速度快、效果好。

38.

等离子体清洗机

K1050X

27.88

英国QUORUM 公司

聚合物的表面处理、去除光刻胶及电子元件中的包胶、有机材料微观灰化、SEM&TEM中有机样品刻蚀、SEM/TEM中的样品夹清洗和石棉试样制备等。

39.

高倍率工具显微镜

MM-400/LU

25.7

日本Nikon

具有三维显微测量功能。平面测量精度在10mm×10mm范围内小于4μm，100mm×100mm范围内小于8μm，深度方向测量精度小于10μm。示值分辨率在0.1μm。

40.

红外热成像显微镜仪

Infrascope 2

35.2

美国奥泰有限公司

主要用于检测微电子和MEMS产品温度分布，适用于SMA、功率模块、功率元器件等电子产品以及包含PCR和相变阀等部件的生化芯片实验室内部的微米尺度温度探测。最高温度探测灵敏度达到0.1，最高空间分辨率达到0.8um。

41.

红外热成像仪

Thermovision A40M

33.1

美国FLIR systems

该仪器可用来对较大体积的高温构件成像，显示构件表面温度值，为研究高温构件温度场分布及温度梯度变化提供了可靠的测量工具。热灵敏度(NETD) < 0.08℃ (30℃时)；焦平面非制冷微量热型探测器(microbolometer) 320 X 240像素；波长范围7.5-13μm；测温范围-40℃-- +500℃；可通过滤片扩展到1500℃ 或 2000℃，测温精度± 2% (读数范围)或 ± 2℃。

42.

微细铣削试验台

自制

36.6

微细铣削实验台x、y、z轴用光栅尺定位，分辨率0.2μm，定位精度2μm。加工体积51mm×51mm×51mm。主要用来研究微细铣削的机理，研究影响加工表面质量的各种因素和加工参数及数控技术。

43.

光谱型椭偏仪

M-2000 DI

80.73

美国Woollam公司

可以一次测量多层薄膜的厚度和光学参数。波长范围：193nm－1700nm，光斑直径：0.3-2-5mm；直射状态下测量准确度：对于全部测量波长，Y = 45 ± 0.15° ，D   = 0 ± 0.15°，测量重复精度：ψ=45°时δψ=0.07°，Δ=0°时δΔ=0.05°。

44.

磁控溅射台

LAB-18

173

美国Kurt J. Lesker公司

能够溅射各种金属和介质材料，也可以进行反应溅射。一次最大可以溅射1片6英寸样品，样品台可以旋转和加热，最高加热温度为800℃。溅射薄膜厚度均匀性优于±5%。

45.

超大景深三维几何形貌显微观测系统

VHX-600E

55

日本KEYENCE公司

最大放大倍数5000，景深范围20倍，具备大景深3D形貌合成功能，1800万像素或相当像素，具备手动微调和自动微调(步长50nm)功能，具备3D形貌任意剖面廓形测定和2D剖面廓形深度测定功能。

46.

电化学沉积/电镀/电铸综合实验系统

DBA   1-253/46-XXX+KWT-GD8

53

德国TRENKER公司 深圳市科伟达科技有限公司

开展多层复合金属材料制备的研究、精密电镀砂轮制造技术研究、精密电化学沉积/电镀机理与技术的研究等。含超声波除脂清洗、镀液循环过滤、镀液pH值检测与调节、镀液成分浓度检测与添加、镀液电加热温控、干燥环节、后续清洗等基本使用功能。

47.

精密微细加工综合实验台

自制

145

具有微细电火花、微细电化学、微细超声波、微细铣钻、精密钻磨孔和磨削功能；具有XYZ行程为300mm、200mm和300mm，分辨率为0.1微米、重复定位误差为1微米/100mm；微细工具在线制备功能；纳秒电源用于微细电化学加工；球面（曲面）超精密磨削/抛光加工等。

48.

双头高压高速毛细管流变仪

StressTech

49.4

英国Bohlin公司

测试包括热塑性及热固性塑料，弹性体，流体及固体的流变性能。可以测量试样的剪切粘度n、法向力N1、剪切模量G(t)、复合粘度、储能模量G、损耗模量G”、损耗、分子量及其分布等。

49.

平面度仪

FlatMaster200

146.15

美国CorningTropel公司

可以非接触测量各种材料零件反射表面的平面度、波纹度、直线度，如硅晶片、玻璃基板、反射镜、金属、抛光复合材料零件等。可测量基片的薄膜应力。

50.

圆柱度测量仪

Talyrond365-500

82.36

英国泰勒公司

测量最大工件直径400 mm；最大测量直径350 mm；最大测量高度500 mm；最大工件重量75Kg；最大偏心1250Kg最大偏心量；保证主轴精度。

51.

多侧头三维形貌仪

Talysurf CLI2000

89.64

英国泰勒公司

XYZ测量范围200×200×200 mm；XY轴分辨率0.5μm；承载20 Kg；测量速度30,15,10,5,1,0.5 mm/sce；XY轴直线度±0.4μm/100mm；XY轴平面度±0.75μm。

52.

三座标测量机

PRISMO7S-ACC(VAST   GOLD)

224.67

蔡司远东有限公司

测量范围X＝900mm；Y＝1200mm；Z＝650mm

53.

刻蚀机

AMS100SE

330.755

法国Alcatel公司

具有良好的人机界面，软件功能强大；具有超高刻蚀率和极好的均匀性；可精确地控制深宽比的效果；可实现高深宽比干法刻蚀。主要用于硅片和SOI片的干法深刻蚀。

54.

光刻机

MA6

227

德国SUSS公司

适于光刻6英寸的晶片；光刻最高分辨率0.2微米；双面光刻；对准精度1微米。

55.

匀胶机

Suss Delta 80 T

34.9

德国SUSS公司

在光刻工艺中，适合于单面开盖或闭盖涂附光刻胶。

56.

多功能激光加工机

KJG-4

26.74

上海安侬科技实业有限公司

（1）精密切割，切割PCD/PCBN复合片（最大厚度3.2 mm，最窄缝细0.1 mm）。（2）焊接，可实现无焊料、气密性焊接。

57.

桌面式化学机械抛光（CMP）试验台

CP-4

128.675

美国CENTER FOR TRIBOLOGY公司

试验台采用抛光头和抛光盘单独控制方式，抛光头和抛光盘主轴均采用高精度轴承支撑，上卡盘具有自调整和对中的功能。可实时检测摩擦力/扭矩、法向载荷、抛光盘的多区域温度等参数。

58.

研究级体视显微镜

SZX12

13.9502

日本OLYMPUS公司

采用平行光轴变倍系统，配有超宽视野10倍目镜和20倍物镜，变倍体中包括一个内置的孔径可变光阑，在高倍率下具有良好的观察效果，分辨率达到800线／mm，可提供12.86倍的变焦比，总放大倍率是0.7X – 225X。该仪器可作为各类表面微观分析仪器。

59.

科研检测显微镜

MX40

11.0474

日本OLYMPUS公司

采用无限远校正光学系统（UIS），配有超宽视野目镜和万能半复消色差物镜，最大放大倍率可达1000X。可采用明场、暗场、偏光、微分干涉等方式进行观察。该仪器可作为各类精密加工表面微观分析仪器。

60.

激光加工系统

JK702H

150

英 国

微孔加工、切割、焊接用于超精密加工技术研究。

61.

激光三维扫描仪

ViScan 110型

14

北京荣创兴业科技发展有限公司

用于云状数据获取和表面质量检测，是反求工程、先进制造与质量检测的必备设备。测量精度为正负0.1毫米，可由计算机给出光刀型扫描数据，并配备了建模软件。

62.

精密微型注塑机

BOY12型

34.2

德国BOY

BOY12A型注射机可生产一次最大注射量小于9克的微型塑料件。

63.

齿轮磨床

Y7125B

35

秦川机床厂

经改装可磨削高精密齿轮。

64.

3D表面轮廓仪

NV5000 5022S

118

美国Zygo公司

能描述加工表面的三维几何形貌，分辨率为0.2nm；可进行表面的微观几何形状误差分析；可由计算机连续操作，并打印出测量结果

65.

硅片精密磨床

VG401MK2

236.43

日本Okamoto公司

立式单轴超精密自动磨床，适用于硅片的超精密加工技术研究和小批量生产, 可磨削加工直径4~16英寸（100~400mm）、厚度为1.5mm的单晶硅片，采用在线厚度测量仪控制向下进给磨削，具有自动和手动两种操作方式，空气轴承单主轴结构，主轴最大转速3000rpm，主轴快速进给150mm/min，主轴进给速度范围1~999μm/min，加工精度0.1μm

66.

激光荧光显微镜

1×71

22.3

日本OLYMPUS

微流体的特性测试

67.

扫描电镜

JSM-6360LV

75

日本电子

微结构观测

68.

氧化扩散炉4寸

BGJ-3

13

信息产业部13所

69.

双面光刻机4寸

ICP-2B

35

信息产业部13所

光刻

70.

真空注型设备

CTV－2型

18.54

深圳浩泰工程公司

快速原型制模，用于硅胶模具的浇注和加热成形

71.

半导体特性参数测试仪

4200－SCS

23

美国KEITHLEY公司

微电子器件的特性测试

72.

表面台阶测试仪

ET4000M

28

日本KOSAKA公司

测硅片表面台阶、沟槽尺寸形状

73.

样品测试探针台

6150

26.8

美国M&M公司

4针、有微动台、显微镜

74.

金丝球焊机

INC

11

Mei Marpet Enterprises

焊接芯片引线

75.

划片机

ZSH306D/T/S/B/ON

16

沈阳仪表所

硅片、芯片切割

76.

超声波加工机床

YL-1500WXKN7125

19.64

南京第二机床厂陕西大通工程实业公司

陶瓷、玻璃成型加工

77.

振动噪声分析系统

B&K3560

40.65

丹麦B&K公司

这是一套由丹麦B&K公司生产的便携式多通道动态信号分析系统，其中包括：硬件、软件、传感器等。对现场生产设备通过振动和噪声的测量，实现状态监测和分析。

78.

微机控制电子万能试验机

CMT4204

12

深圳新三思计量技术有限公司

是对高分子材料进行力学性能测试的高精度、多用途的材料试验机。采用不同的夹具，能完成高分子材料在拉伸、压缩、弯曲、剪切、剥离、撕裂等状态下的力学性能试验。采用微机控制，实时动态显示负荷值、位移值、变形值、试验速度和试验曲线。

79.

扫描隧道显微镜

STM

12

中科院化学所

测量微观表面形貌

80.

龙门式加工中心

MCV-AII1650×2000×1380

354

日本OKUMA

3轴连动，适合于大型工件的二维平面和三维曲面的加工

81.

NC五轴联动加工中心

DWU70V

188

德国德马吉公司

可用于钻、扩、铰、镗、铣等加工。采用光栅尺形成闭环反馈控制，备有RSC232、RS422接口，可进行数据传输，还具有故障诊断功能及计算机的仿形功能

82.

NC电火花线切割加工机床

AP200

150

日本沙迪克公司

能够进行细小的、精密零件和模具加工，其加工精度及表面粗糙度指标在行业界一直处于领先地位

83.

NC电火花线切割加工机床

A530D

96.5

日本沙迪克公司

精密冲模、机械零件部件通透加工

84.

NC电火花成型加工机床

A35R+MARK21+粉末加工装置

110

日本沙迪克公司

A35R精密电火花成型机床是高速高精度大面积镜面成型机，采用特殊粉末添加液，能够实现大面积的高表面质量的电火花成型机床，精加工时间缩短到传统加工时间的1/10

85.

NC电火花成型加工机床

A50R/MAK21

114

日本沙迪克公司

A50R精密电火花成型机床采用滑枕式导轨、升降式工作液箱，主轴头具有精密分度和高速回转的功能。适于微孔加工和复杂的电火花创成加工

86.

电火花小孔加工机床

KIC

25

日本沙迪克公司

快速加工0.3~3mm小孔，可用于精密加工

87.

两功能激光快速成型系统

MRPM-II

65

北京殷华激光公司

本系统可以实现分层实体制造工艺（SSM）和熔融堆积成型工艺(MEM)，由于是开放式平台，用户可根据需要进行新成型工艺的研究

88.

NC立式加工中心

ARROW750950×520×520

106.6

美国CINCINNATI

3轴连动，可以进行二维平面和三维曲面的加工

89.

快速付氏分析仪

CF250

83.2

日本小野公社

可对旋转机械振动、滚动轴承、齿轮等进行精密诊断，可在现场对大型旋转机械作就地平衡作业

90.

红外测温仪

HSM672

34

美国WAHL公司

非接触测量温度，测温范围为300℃~1600℃，精度为±5℃

91.

坐标镗床

T4163

15.7

昆明机床厂

具有位置精度要求的高尺寸精度孔系的加工

92.

激光测量系统

5528A

131

美国HP

测量数控类机床的位移精度

93.

真空热处理炉

ZCT-65

18.5

北京首都机械厂

最高温度1200℃，零件表面无氧化

94.

高精度工具磨床

RS-12

38

瑞士EWAG公司

磨削高精度工具，它具有磨削过程的可视性